マイクロマシン/MEMS技術大全

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書誌事項

タイトル
"マイクロマシン/MEMS技術大全"
責任表示
木浦成俊編
出版者
  • 電子ジャーナル
出版年月
  • 2003.7
書籍サイズ
28cm
タイトル別名
  • マイクロ マシン MEMS ギジュツ タイゼン
  • MEMS technology outlook
  • マイクロマシンMEMS技術大全

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詳細情報 詳細情報について

  • CRID
    1130580052542651145
  • NII書誌ID
    BD05025660
  • 本文言語コード
    ja
  • 出版国コード
    ja
  • タイトル言語コード
    ja
  • 出版地
    • 東京
  • データソース種別
    • CiNii Books
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