半導体デバイス工程評価技術 : ライフタイム、DLTS評価を中心として
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Bibliographic Information
- Title
- "半導体デバイス工程評価技術 : ライフタイム、DLTS評価を中心として"
- Statement of Responsibility
- 宇佐美晶, 徳田豊 [著]
- Publisher
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- リアライズ理工センター
- Publication Year
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- c2006
- Book size
- 30cm
- Other Title
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- ハンドウタイ デバイス コウテイ ヒョウカ ギジュツ : ライフタイム DLTS ヒョウカ オ チュウシン トシテ
- 半導体デバイス工程評価技術 : ライフタイムDLTS評価を中心として
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Notes
1990年9月刊の複製
背と裏表紙に「Realize, Science & Engineering」とあり. (2007年10月、リアライズ・アドバンストテクノロジからRealize, Science & Engineeringに出版事業譲渡されている)
参考文献あり
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Details 詳細情報について
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- CRID
- 1130855024971978757
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- NII Book ID
- BC14399507
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- ISBN
- 9784898080528
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- Text Lang
- ja
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- Country Code
- ja
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- Title Language Code
- ja
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- Place of Publication
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- 東京
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- Subject
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- BSH: 半導体
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- Data Source
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- CiNii Books