はじめての半導体ドライエッチング技術
CiNii
Available at 9 libraries
Bibliographic Information
- Title
- "はじめての半導体ドライエッチング技術"
- Statement of Responsibility
- 野尻一男著
- Publisher
-
- 技術評論社
- 改訂版
- Publication Year
-
- 2020.11
- Book size
- 21cm
- Other Title
-
- ハジメテ ノ ハンドウタイ ドライ エッチング ギジュツ
Search this Book/Journal
Notes
ドライエッチングのメカニズムを極力数式を使わないで説明した入門書。基礎から装置、最先端の応用技術に至るまで系統的に理解できるように解説。ドライエッチング技術の今後の課題と展望についても言及する。
文献: 章末