Mechanical properties of silicones for MEMS

DOI 被引用文献6件

書誌事項

公開日
2008-04-29
DOI
  • 10.1088/0960-1317/18/6/065008
公開者
IOP Publishing

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  • CRID
    1360011144852908032
  • DOI
    10.1088/0960-1317/18/6/065008
  • ISSN
    13616439
    09601317
    http://id.crossref.org/issn/09601317
  • データソース種別
    • Crossref

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