Dynamic MC simulation for a-C:H deposition in methane plasma based on subplantation model
書誌事項
- 公開日
- 2003-03
- 権利情報
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- https://www.elsevier.com/tdm/userlicense/1.0/
- DOI
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- 10.1016/s0925-9635(02)00223-6
- 公開者
- Elsevier BV
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収録刊行物
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- Diamond and Related Materials
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Diamond and Related Materials 12 (3-7), 927-930, 2003-03
Elsevier BV
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1360011146443346048
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- ISSN
- 09259635
- http://id.crossref.org/issn/09259635
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- データソース種別
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- Crossref