書誌事項
- 公開日
- 2018-09
- 権利情報
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- https://www.elsevier.com/tdm/userlicense/1.0/
- https://www.elsevier.com/legal/tdmrep-license
- http://creativecommons.org/licenses/by/4.0/
- DOI
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- 10.1016/j.apmt.2018.07.004
- 公開者
- Elsevier BV
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収録刊行物
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- Applied Materials Today
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Applied Materials Today 12 366-388, 2018-09
Elsevier BV