Optical investigation of residual doping species in 6H and 4H-SIC layers grown by chemical vapor deposition
書誌事項
- 公開日
- 1999-07
- 権利情報
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- https://www.elsevier.com/tdm/userlicense/1.0/
- DOI
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- 10.1016/s0921-5107(98)00513-3
- 公開者
- Elsevier BV
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収録刊行物
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- Materials Science and Engineering: B
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Materials Science and Engineering: B 61-62 253-257, 1999-07
Elsevier BV
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1360016870517454464
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- NII論文ID
- 30004985821
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- ISSN
- 09215107
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- データソース種別
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- Crossref
- CiNii Articles