Trench isolation for 0.45 μm active pitch and below

詳細情報 詳細情報について

• CRID

  1360021392650195456

• DOI

  10.1109/iedm.1995.499310

• Web Site

  http://xplorestaging.ieee.org/ielx3/3584/10696/00499310.pdf?arnumber=499310

• データソース種別

  • Crossref