SF <sub>6</sub> Plasma Etching of Silicon: Evidence of Sequential Multilayer Fluorine Adsorption
書誌事項
- 公開日
- 1987-11-01
- DOI
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- 10.1209/0295-5075/4/9/016
- 公開者
- IOP Publishing
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収録刊行物
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- Europhysics Letters (EPL)
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Europhysics Letters (EPL) 4 (9), 1049-1054, 1987-11-01
IOP Publishing
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1360292619876961024
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- ISSN
- 12864854
- 02955075
- http://id.crossref.org/issn/02955075
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- データソース種別
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- Crossref