All‐Around SiN Stressor for High and Homogeneous Tensile Strain in Germanium Microdisk Cavities

  • Abdelhamid Ghrib
    Institut d'Electronique Fondamentale CNRS‐Université Paris Sud F‐91405 Orsay France
  • Moustafa El Kurdi
    Institut d'Electronique Fondamentale CNRS‐Université Paris Sud F‐91405 Orsay France
  • Mathias Prost
    Institut d'Electronique Fondamentale CNRS‐Université Paris Sud F‐91405 Orsay France
  • Sébastien Sauvage
    Institut d'Electronique Fondamentale CNRS‐Université Paris Sud F‐91405 Orsay France
  • Xavier Checoury
    Institut d'Electronique Fondamentale CNRS‐Université Paris Sud F‐91405 Orsay France
  • Grégoire Beaudoin
    Laboratoire de Photonique et de Nanostructures CNRS‐UPR 20, Route de Nozay 91460 Marcoussis France
  • Marc Chaigneau
    Laboratoire de Physique des Interfaces et des Couches Minces CNRS Ecole polytechnique F‐91128 Palaiseau France
  • Razvigor Ossikovski
    Laboratoire de Physique des Interfaces et des Couches Minces CNRS Ecole polytechnique F‐91128 Palaiseau France
  • Isabelle Sagnes
    Laboratoire de Photonique et de Nanostructures CNRS‐UPR 20, Route de Nozay 91460 Marcoussis France
  • Philippe Boucaud
    Institut d'Electronique Fondamentale CNRS‐Université Paris Sud F‐91405 Orsay France

収録刊行物

被引用文献 (5)*注記

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