Development and characterization of membranes actuated by a PZT thin film for MEMS applications
書誌事項
- 公開日
- 2004-09
- 権利情報
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- https://www.elsevier.com/tdm/userlicense/1.0/
- DOI
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- 10.1016/j.sna.2004.02.011
- 公開者
- Elsevier BV
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収録刊行物
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- Sensors and Actuators A: Physical
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Sensors and Actuators A: Physical 115 (2-3), 483-489, 2004-09
Elsevier BV