Epitaxial growth of non-polar a-plane AlN films by low temperature sputtering using ZnO buffer layers
書誌事項
- 公開日
- 2011-05
- 権利情報
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- https://www.elsevier.com/tdm/userlicense/1.0/
- DOI
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- 10.1016/j.tsf.2011.01.149
- 公開者
- Elsevier BV
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収録刊行物
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- Thin Solid Films
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Thin Solid Films 519 (15), 5090-5094, 2011-05
Elsevier BV