Low-voltage-exposure-enabled hydrogen silsesquioxane bilayer-like process for three-dimensional nanofabrication

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書誌事項

公開日
2016-05-13
権利情報
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  • http://iopscience.iop.org/page/copyright
DOI
  • 10.1088/0957-4484/27/25/254002
公開者
IOP Publishing

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収録刊行物

  • Nanotechnology

    Nanotechnology 27 (25), 254002-, 2016-05-13

    IOP Publishing

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