The microstructure and mechanical properties of TaN/TiN and TaWN/TiN superlattice films

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Thin Solid Films

Thin Solid Films 370 (1-2), 45-49, 2000-07

Elsevier BV

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CRID

1360855569093078272
DOI

10.1016/s0040-6090(00)00940-8
ISSN

00406090
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- Crossref

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