Low temperature plasma-enhanced ALD enables cost-effective spacer defined double patterning (SDDP)

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公開日
2009-12-03
DOI
  • 10.1117/12.836979
公開者
SPIE

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  • CRID
    1360861294787358208
  • DOI
    10.1117/12.836979
  • ISSN
    0277786X
  • データソース種別
    • Crossref

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