Growth kinetics of N-face polarity GaN by plasma-assisted molecular-beam epitaxy

  • E. Monroy
    Equipe mixte CEA-CNRS-UJF Nanophysique et Semiconducteurs, Dépt. de Recherche Fondamentale sur la Matière Condensée, SP2M/PSC, CEA-Grenoble, 17 rue des Martyrs, 38054-Grenoble cedex 9, France
  • E. Sarigiannidou
    Equipe mixte CEA-CNRS-UJF Nanophysique et Semiconducteurs, Dépt. de Recherche Fondamentale sur la Matière Condensée, SP2M/PSC, CEA-Grenoble, 17 rue des Martyrs, 38054-Grenoble cedex 9, France
  • F. Fossard
    Equipe mixte CEA-CNRS-UJF Nanophysique et Semiconducteurs, Dépt. de Recherche Fondamentale sur la Matière Condensée, SP2M/PSC, CEA-Grenoble, 17 rue des Martyrs, 38054-Grenoble cedex 9, France
  • N. Gogneau
    Equipe mixte CEA-CNRS-UJF Nanophysique et Semiconducteurs, Dépt. de Recherche Fondamentale sur la Matière Condensée, SP2M/PSC, CEA-Grenoble, 17 rue des Martyrs, 38054-Grenoble cedex 9, France
  • E. Bellet-Amalric
    Equipe mixte CEA-CNRS-UJF Nanophysique et Semiconducteurs, Dépt. de Recherche Fondamentale sur la Matière Condensée, SP2M/PSC, CEA-Grenoble, 17 rue des Martyrs, 38054-Grenoble cedex 9, France
  • J.-L. Rouvière
    Equipe mixte CEA-CNRS-UJF Nanophysique et Semiconducteurs, Dépt. de Recherche Fondamentale sur la Matière Condensée, SP2M/PSC, CEA-Grenoble, 17 rue des Martyrs, 38054-Grenoble cedex 9, France
  • S. Monnoye
    Novasic, Savoie Technolac, l’Arche No. 4, 73375 Le Bourget du Lac, France
  • H. Mank
    Novasic, Savoie Technolac, l’Arche No. 4, 73375 Le Bourget du Lac, France
  • B. Daudin
    Equipe mixte CEA-CNRS-UJF Nanophysique et Semiconducteurs, Dépt. de Recherche Fondamentale sur la Matière Condensée, SP2M/PSC, CEA-Grenoble, 17 rue des Martyrs, 38054-Grenoble cedex 9, France

書誌事項

公開日
2004-05-03
DOI
  • 10.1063/1.1739511
公開者
AIP Publishing

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説明

<jats:p>We have studied the surface kinetics of N-face GaN during molecular-beam epitaxial growth by investigating the Ga wetting and the surface morphology. In the case of N-face GaN, it is not possible to establish the self-regulated Ga bilayer that is used as a surfactant for molecular-beam-epitaxy growth of Ga-face GaN. Indeed, to prevent the accumulation of Ga droplets, growth of the N-face GaN must be performed with less than one monolayer of excess Ga on the growing surface. Optimum surface morphology is achieved when growth is performed at the Ga accumulation limit.</jats:p>

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