Micro-Raman spectroscopy stress measurement method for porous silicon film
書誌事項
- 公開日
- 2010-11
- 権利情報
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- https://www.elsevier.com/tdm/userlicense/1.0/
- DOI
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- 10.1016/j.optlaseng.2009.12.020
- 公開者
- Elsevier BV
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収録刊行物
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- Optics and Lasers in Engineering
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Optics and Lasers in Engineering 48 (11), 1119-1125, 2010-11
Elsevier BV
