Pressure sensitivity in anisotropically etched thin-diaphragm pressure sensors

書誌事項

公開日
1979-12
権利情報
  • https://ieeexplore.ieee.org/Xplorehelp/downloads/license-information/IEEE.html
  • https://doi.org/10.15223/policy-029
  • https://doi.org/10.15223/policy-037
DOI
  • 10.1109/t-ed.1979.19792
公開者
Institute of Electrical and Electronics Engineers (IEEE)

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