An AES-SIMS study of silicon oxidation induced by ion or electron bombardment
書誌事項
- 公開日
- 1980-07
- 権利情報
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- https://www.elsevier.com/tdm/userlicense/1.0/
- DOI
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- 10.1016/0378-5963(80)90063-x
- 公開者
- Elsevier BV
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収録刊行物
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- Applications of Surface Science
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Applications of Surface Science 5 (3), 221-242, 1980-07
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