Experimentally unraveling the energy flux originating from a DC magnetron sputtering source

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Thin Solid Films

Thin Solid Films 669 8-18, 2019-01

Elsevier BV

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CRID

1361418521120407424
DOI

10.1016/j.tsf.2018.10.021
ISSN

00406090
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- Crossref

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