Formation and Characterization of Transition-Metal Silicides

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公開日: 1983

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DOI

10.1016/b978-0-12-234106-9.50011-8

公開者: Elsevier

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収録刊行物

VLSI Electronics Microstructure Science

VLSI Electronics Microstructure Science 6 329-464, 1983

Elsevier

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CRID

1361699993362800384
DOI

10.1016/b978-0-12-234106-9.50011-8
ISSN

07367031
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