Gate Line Edge Roughness Model for Estimation of FinFET Performance Variability

詳細情報 詳細情報について

• CRID

  1361699994147925120

• DOI

  10.1109/ted.2009.2032605

• ISSN

  15579646

  00189383

• Web Site

  http://xplorestaging.ieee.org/ielx5/16/5319722/05306156.pdf?arnumber=5306156

• データソース種別

  • Crossref