• CiNii Researchナレッジグラフ検索機能（試行版）をCiNii Labsにて公開しました
  • 「研究データ」「根拠データ」の収録について
  • CiNii Books機能統合対応の追加実施をいたしました

    • Analytical prediction for depth of subsurface damage in silicon wafer due to self-rotating grinding process

    DOI Web Site Web Site 被引用文献1件

    書誌事項

    公開日
    2019-05
    権利情報
    • https://www.elsevier.com/tdm/userlicense/1.0/
    • https://www.elsevier.com/legal/tdmrep-license
    DOI
    • 10.1016/j.cap.2019.02.015
    公開者
    Elsevier BV

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