Metal-assisted chemical etching of silicon and nanotechnology applications

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収録刊行物

Nano Today

Nano Today 9 (3), 271-304, 2014-06

Elsevier BV

被引用文献 (15)*注記

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CRID

1361699996105256192
DOI

10.1016/j.nantod.2014.04.013
ISSN

17480132
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