Structural properties of zinc oxide thin films prepared by r.f. magnetron sputtering

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収録刊行物

Materials Science and Engineering: B

Materials Science and Engineering: B 97 (1), 68-73, 2003-01

Elsevier BV

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CRID

1362262945981694080
DOI

10.1016/s0921-5107(02)00406-3
ISSN

09215107
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