• Jhih-Rong Gao
    ECE Dept., Univ. of Texas at Austin, Austin, TX 78712
  • Xiaoqing Xu
    ECE Dept., Univ. of Texas at Austin, Austin, TX 78712
  • Bei Yu
    ECE Dept., Univ. of Texas at Austin, Austin, TX 78712
  • David Z. Pan
    ECE Dept., Univ. of Texas at Austin, Austin, TX 78712

書誌事項

タイトル別名
  • Mask Optimizing Solution With Process Window Aware Inverse Correction
公開日
2014-06
権利情報
  • https://www.acm.org/publications/policies/copyright_policy#Background
DOI
  • 10.1145/2593069.2593163
公開者
ACM

収録刊行物

被引用文献 (4)*注記

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