書誌事項
- 公開日
- 1989-05
- DOI
-
- 10.1116/1.575935
- 公開者
- American Vacuum Society
この論文をさがす
収録刊行物
-
- Journal of Vacuum Science & Technology A: Vacuum, Surfaces, and Films
-
Journal of Vacuum Science & Technology A: Vacuum, Surfaces, and Films 7 (3), 2315-2324, 1989-05
American Vacuum Society
- Tweet
詳細情報 詳細情報について
-
- CRID
- 1362544420181287936
-
- NII論文ID
- 30020300853
-
- DOI
- 10.1116/1.575935
-
- ISSN
- 15208559
- 07342101
-
- データソース種別
-
- Crossref
- CiNii Articles
