<title>Self-passivated copper gates for amorphous silicon thin film transistors</title>

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公開日
1997-04-10
DOI
  • 10.1117/12.270301
公開者
SPIE

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  • CRID
    1362544420782861056
  • DOI
    10.1117/12.270301
  • ISSN
    0277786X
  • データソース種別
    • Crossref

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