Development of miniaturized piezoelectric actuators for optical applications realized using LIGA technology
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- H. Debeda
- Lab. IXL, Bordeaux I Univ., Talence, France
書誌事項
- 公開日
- 1999-09
- 権利情報
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- https://ieeexplore.ieee.org/Xplorehelp/downloads/license-information/IEEE.html
- DOI
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- 10.1109/84.788629
- 公開者
- Institute of Electrical and Electronics Engineers (IEEE)
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収録刊行物
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- Journal of Microelectromechanical Systems
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Journal of Microelectromechanical Systems 8 (3), 258-263, 1999-09
Institute of Electrical and Electronics Engineers (IEEE)
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1362825894651858688
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- NII論文ID
- 80011319431
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- ISSN
- 19410158
- 10577157
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- データソース種別
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- Crossref
- CiNii Articles