A novel high aspect ratio technology for MEMS fabrication using standard silicon wafers

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Sensors and Actuators A: Physical

Sensors and Actuators A: Physical 97-98 691-701, 2002-04

Elsevier BV

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CRID

1363388846170940032
DOI

10.1016/s0924-4247(02)00006-7
ISSN

09244247
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