Plasma uniformity in high-density inductively coupled plasma tools

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書誌事項

公開日
1995-02-01
DOI
  • 10.1088/0963-0252/4/1/005
公開者
IOP Publishing

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  • CRID
    1363670319128537088
  • NII論文ID
    30018075323
  • DOI
    10.1088/0963-0252/4/1/005
  • ISSN
    13616595
    09630252
    https://id.crossref.org/issn/09630252
  • データソース種別
    • Crossref
    • CiNii Articles

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