Design and use of a vacuum system for high rate reactive sputtering of TiO2/TiN/TiO2 solar control films
書誌事項
- 公開日
- 1988-12
- 権利情報
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- https://www.elsevier.com/tdm/userlicense/1.0/
- DOI
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- 10.1016/0165-1633(88)90049-4
- 公開者
- Elsevier BV
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収録刊行物
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- Solar Energy Materials
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Solar Energy Materials 18 (1-2), 87-95, 1988-12
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