書誌事項
- 公開日
- 1992
- DOI
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- 10.1109/memsys.1992.187697
- 公開者
- IEEE
収録刊行物
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- [1992] Proceedings IEEE Micro Electro Mechanical Systems
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[1992] Proceedings IEEE Micro Electro Mechanical Systems 93-98, 1992
IEEE