Low-cost polymeric microcantilever sensor with titanium as piezoresistive material
書誌事項
- 公開日
- 2012-10
- 権利情報
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- https://www.elsevier.com/tdm/userlicense/1.0/
- DOI
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- 10.1016/j.mee.2012.07.067
- 公開者
- Elsevier BV
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収録刊行物
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- Microelectronic Engineering
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Microelectronic Engineering 98 338-342, 2012-10
Elsevier BV