Intermediate gas phase precursors during plasma CVD of HMDSO

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公開日
2003-05
権利情報
  • https://www.elsevier.com/tdm/userlicense/1.0/
DOI
  • 10.1016/s0042-207x(02)00763-7
公開者
Elsevier BV

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収録刊行物

  • Vacuum

    Vacuum 71 (3), 349-359, 2003-05

    Elsevier BV

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