Aluminium nitride deposition on 4H-SiC by means of physical vapour deposition
書誌事項
- 公開日
- 2006-10
- 権利情報
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- https://www.elsevier.com/tdm/userlicense/1.0/
- DOI
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- 10.1016/j.tsf.2005.12.261
- 公開者
- Elsevier BV
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収録刊行物
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- Thin Solid Films
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Thin Solid Films 515 (2), 456-459, 2006-10
Elsevier BV
