書誌事項
- 公開日
- 1991-05
- DOI
-
- 10.1116/1.577667
- 公開者
- American Vacuum Society
この論文をさがす
収録刊行物
-
- Journal of Vacuum Science & Technology A: Vacuum, Surfaces, and Films
-
Journal of Vacuum Science & Technology A: Vacuum, Surfaces, and Films 9 (3), 1599-1603, 1991-05
American Vacuum Society
- Tweet
詳細情報 詳細情報について
-
- CRID
- 1363670320662425472
-
- DOI
- 10.1116/1.577667
-
- ISSN
- 15208559
- 07342101
-
- データソース種別
-
- Crossref
