Detection of metallic trace impurities on Si(100) surfaces with total reflection X-ray fluorescence (TXRF)

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Nachweis von metallischen Spurenverunreinigungen an Si(100)-Oberflächen mit der Totalreflexions-Röntgenfluorescenzanalyse (TXRF)

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Fresenius' Zeitschrift für analytische Chemie

Fresenius' Zeitschrift für analytische Chemie 333 (4-5), 586-589, 1989-01

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1364233270697945600
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10.1007/bf00572381
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00161152
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- Crossref

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