Fatigue and Fracture Toughness Testing Equipment of Micro-Sized Specimens for MEMS Applications
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- Takashima Kazuki
- Tokyo Institute of Technology
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- Higo Yakichi
- Tokyo Institute of Technology
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- Sugiura Shinsuke
- Nissei Sangyo Co Ltd.
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- Swain Michael V
- CSIRO
Bibliographic Information
- Other Title
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- ＭＥＭＳ用ミクロンサイズ超微小材料に対する疲労および破壊靭性評価試験装置の開発
- シン ギジュツ シンセイヒン MEMSヨウ ミクロンサイズ チョウビショウ ザイリョウ ニ タイスル ヒロウ オヨビ ハカイジンセイ ヒョウカ シケン ソウチ ノ カイハツ
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Journal
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- Materia Japan
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Materia Japan 40 (2), 184-186, 2001
The Japan Institute of Metals and Materials