ＭＥＭＳ用ミクロンサイズ超微小材料に対する疲労および破壊靭性評価試験装置の開発

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タイトル別名
  • Fatigue and Fracture Toughness Testing Equipment of Micro-Sized Specimens for MEMS Applications
  • シン ギジュツ シンセイヒン MEMSヨウ ミクロンサイズ チョウビショウ ザイリョウ ニ タイスル ヒロウ オヨビ ハカイジンセイ ヒョウカ シケン ソウチ ノ カイハツ

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収録刊行物

  • まてりあ

    まてりあ 40 (2), 184-186, 2001

    公益社団法人 日本金属学会

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