フラッシュランプ加熱による高品質シリコン薄膜多結晶の成長

  • 大平 圭介
    北陸先端科学技術大学院マテリアルサイエンス研究科

書誌事項

タイトル別名
  • Formation of High-quality Poly-Si Films by Flash Lamp Annealing
  • シンシン キエイ フラッシュ ランプ カネツ ニ ヨル コウヒンシツ シリコン ハクマク タケッショウ ノ セイチョウ

この論文をさがす

収録刊行物

  • まてりあ

    まてりあ 47 (2), 89-92, 2008

    公益社団法人 日本金属学会

参考文献 (10)*注記

もっと見る

詳細情報 詳細情報について

問題の指摘

ページトップへ