Formation of High-quality Poly-Si Films by Flash Lamp Annealing

DOI Web Site Web Site 10 References

Bibliographic Information

Other Title
  • フラッシュランプ加熱による高品質シリコン薄膜多結晶の成長
  • シンシン キエイ フラッシュ ランプ カネツ ニ ヨル コウヒンシツ シリコン ハクマク タケッショウ ノ セイチョウ

Search this article

Journal

  • Materia Japan

    Materia Japan 47 (2), 89-92, 2008

    The Japan Institute of Metals and Materials

References(10)*help

See more

Keywords

Details 詳細情報について

Report a problem

Back to top