Formation of High-quality Poly-Si Films by Flash Lamp Annealing
-
- Ohdaira Keisuke
- Japan Advanced Institute of Science and Technology
Bibliographic Information
- Other Title
-
- フラッシュランプ加熱による高品質シリコン薄膜多結晶の成長
- シンシン キエイ フラッシュ ランプ カネツ ニ ヨル コウヒンシツ シリコン ハクマク タケッショウ ノ セイチョウ
Search this article
Journal
-
- Materia Japan
-
Materia Japan 47 (2), 89-92, 2008
The Japan Institute of Metals and Materials
- Tweet
Keywords
Details 詳細情報について
-
- CRID
- 1390001204056265600
-
- NII Article ID
- 10021148827
-
- NII Book ID
- AN10433227
-
- ISSN
- 18845843
- 13402625
-
- NDL BIB ID
- 9371025
-
- Text Lang
- ja
-
- Data Source
-
- JaLC
- NDL
- Crossref
- CiNii Articles