Formation of High-quality Poly-Si Films by Flash Lamp Annealing

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  • フラッシュランプ加熱による高品質シリコン薄膜多結晶の成長
  • シンシン キエイ フラッシュ ランプ カネツ ニ ヨル コウヒンシツ シリコン ハクマク タケッショウ ノ セイチョウ

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  • Materia Japan

    Materia Japan 47 (2), 89-92, 2008

    The Japan Institute of Metals and Materials

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