同軸円筒形イオン源とレジスト薄膜作成

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タイトル別名
  • Coating of X-ray resist film by using coacxial discharge cylinder ion source.
  • ドウジク エントウケイ イオンゲン ト レジスト ハクマク サクセイ

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収録刊行物

  • 真空

    真空 30 (5), 378-381, 1987

    一般社団法人 日本真空学会

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