集束イオンビームの電子デバイスプロセスヘの応用

DOI Web Site 参考文献10件
  • 皆藤 孝
    セイコーイソスツルメンツ (株) 科学機器事業部

書誌事項

タイトル別名
  • The Applications of Focused Ion Beam (FIB) in the Electronic Devices Process
  • カイセツ シュウソク イオンビーム ノ デンシ デバイスプロセス エ ノ オウヨウ

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収録刊行物

  • 真空

    真空 46 (2), 81-86, 2003

    一般社団法人 日本真空学会

参考文献 (10)*注記

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