Anti-Reflection Coatings by Sputtering

DOI Web Site 1 Citations 12 References
  • KAWAMATA Ken
    Production Engineering Department, Olympus Optical Co., LTD.

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  • 反応性スパッタリングとターゲット　　スパッタリング法による反射防止膜の形成
  • スパッタリングホウ ニ ヨル ハンシャ ボウシ マク ノ ケイセイ

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  • Shinku

    Shinku 43 (8), 773-778, 2000

    The Vacuum Society of Japan

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