ACフリーマン・イオン源のイオン・ビーム発生特性

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タイトル別名
  • Characteristics of ion beam extraction from an AC Freeman ion source.
  • AC フリーマン イオンゲン ノ イオン ビーム ハッセイ トクセイ ソクホウ

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記事分類: 電気工学--電子工学--電子応用機器

収録刊行物

  • 真空

    真空 28 (5), 379-381, 1985

    一般社団法人 日本真空学会

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