ＲＦコンタクト付，ダブルシールオールメタルゲート弁の試作と性能評価

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タイトル別名
  • Trial and performance evaluations of all metal gate valve with double seal and RF contact.
  • RF コンタクトツキ ダブル シールオート メタル ゲートベン ノ シサク ト

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収録刊行物

  • 真空

    真空 34 (3), 371-374, 1991

    一般社団法人 日本真空学会

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