ＲＨＥＥＤによるＳｉ（１００）の２×１表面構造とその上でのＳｉエピタキシーの観察

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タイトル別名
  • Observation of Si(100) 2*1 surface structure and Si homoepitaxial growth by RHEED.
  • RHEED ニ ヨル Si 100 ノ 2 1 ヒョウメン コウゾウ ト ソノ

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抄録

記事分類: 物理学--分子・物性--結晶

収録刊行物

  • 真空

    真空 32 (3), 119-122, 1989

    一般社団法人 日本真空学会

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