超高真空用アルミニウム合金チェンバーの放出ガス測定

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タイトル別名
  • Outgassing measurement of the aluminum alloy UHV chamber.
  • チョウ コウ シンクウヨウ アルミニウム ゴウキン チェンバー ノ ホウシュツ

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記事分類: 機械工学--流体機械--ポンプ

収録刊行物

  • 真空

    真空 28 (2), 87-90, 1985

    一般社団法人 日本真空学会

被引用文献 (4)*注記

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