グローモードプラズマ源を用いた放電洗浄によるステンレス鋼の放出ガス低減

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タイトル別名
  • Glow discharge cleaning of stainless steels with glow mode plasma source.
  • グロー モード プラズマ ゲン オ モチイタ ホウデン センジョウ ニ ヨル

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抄録

記事分類: 金属工学・鉱山工学--性質・組織--鉄鋼--ステンレス鋼

収録刊行物

  • 真空

    真空 30 (5), 276-279, 1987

    一般社団法人 日本真空学会

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