ポイントコレクターゲージによる１０｀－１１´Ｐａ領域での圧力測定の誤差の評価

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  • The estimations of the 10-11Pa range pressure measurement errors by a point collector gauge.
  • ポイントコレクターゲージ ニ ヨル 10-11Pa リョウイキ デ ノ アツリ

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抄録

記事分類: 測定・測定器--圧力

収録刊行物

  • 真空

    真空 34 (1), 17-24, 1991

    一般社団法人 日本真空学会

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